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 影響潔凈室都有哪些因素

2021-02-10 11:03:47

  影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等;以及生產(chǎn)設備上方氣流的分流點。

  一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點,應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。

  潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現(xiàn)象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

  潔凈室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室:天花板系統(tǒng);空調(diào)系統(tǒng);隔墻板;地板;照明器具。

  注:潔凈室之建筑主體構(gòu)造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構(gòu)造,必須滿足以下條件:不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;吸濕性小;為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高。

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